规格参数
高性能质量流量计
高性能数字液体质量流量计,带有集成液体流量传感器和 PID 控制器,用于微小流量。
LM-3000L 配备了高精度液体流量传感器。 C2H5OH 等效满量程 0.1g/min ~ 20g/min 高精度微流量测量。
由于它具有内置 PID 控制器,因此可以通过将其与 Lintec 的阀门配备产品(蒸发器、控制阀)相结合来控制液体的流速。
微流量液体测量
汽化流量控制
精度± 1% F.S.
金属密封件
清洁(保证颗粒)
RS-485 通信
产品详情
液体汽化流量的流量控制
通过将液体质量流量计 (LM-3000L) 与 Lintec 制造的内置控制阀的蒸发器 (VU) 相结合,可以控制在汽化室之前引入蒸发器的流量。 因此,实现了高响应性汽化的流量控制,而不受汽化器热量的影响。
液体流量控制
通过将 Lintec 控制阀 (CV-1000) 与内置 PID 控制器的液体质量流量计 (LM-3000L) 相结合,它可以用作液体质量流量控制器。
在半导体制造过程中,TEOS 等液体源比气体更昂贵且更易于处理,它们会蒸发和变形。 在制造工艺方面,供应量很大,而且许多最新的原材料都是低蒸气压材料。 由于供料量和耐热温度是使用气体 MFC 的传统烘烤方法的瓶颈,因此需要一种温度限制较少且供料量大的直接汽化方法。 但是,在直接汽化法中,反应气体的流速是在液相中控制的,因此一个小的误差就会对反应产生很大影响。
以 H2O 为例,当 1 ml 液相在理想状态下汽化时,它会膨胀到 1,244 ml。 它已成为半导体制造设备中不可或缺的技术,它控制液体流速、蒸发并与之反应,这需要对微小流速进行高精度流量控制。
流量控制装置包括 1 ml/min 或更低的计量泵,但计量泵连续执行机械切换作,从而导致脉动。 没有机械切换的注射泵不会产生脉动,但泵的体积有限,因此不适合连续进料。
此外,当液体以受控流量引入真空装置时,由于计量泵中的压差,流量不稳定。
液体质量流量控制器的流量控制是将气体等加压至恒定压力的液体引入液体质量流量控制器,通过内部流量传感器检测瞬时流量,并持续控制阀门开度,从而无论二次侧是否减压或大气压,都可以控制流量恒定。
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