ATOMAX AM6S-1ST 二流体喷嘴微量超细雾化半导体晶圆喷涂空气雾化

ATOMAX AM6S-1ST 精密二流体空气雾化喷嘴,采用外混涡流微量雾化结构,可产出平均 5μm 超细均匀雾滴,流量精准可控。直通大通道防堵不易积胶,整机小巧易集成,低压即可稳定雾化,适配光刻胶、清洗液等介质。专为半导体晶圆涂覆、电子元件薄膜喷涂打造,雾化均匀无滴漏,保障高精度制程良率,也适用于医疗、实验室微量喷涂场景。
Parameter

规格参数

参数项目参数详情
产品型号ATOMAX AM6S-1ST
雾化方式外部混合涡流二流体
平均雾滴粒径约 5μm
液体流量0.02–3L/min 微量可调
工作气压2–5bar 低压运行
适配粘度≤50cP
核心特点超微量、超细雾化、直通防堵、体积紧凑
适用场景半导体晶圆光刻胶喷涂、电子精密镀膜、微量药剂雾化
适配气源20–750W 小型空压机


Particulars

产品详情

一、产品概述
AM6S-1ST 精密二流体空气雾化喷嘴,原装同款外部气液混合喷头,主体采用 316 不锈钢一体加工,

耐腐蚀、耐高温,实现微量超细雾化,雾粒均匀细腻,无滴水、无堵塞,广泛适配半导体、电子、医疗、精密喷涂等高端工艺场景。
二、核心产品优势
超细微量雾化
外部涡流式混合结构,平均雾化粒径 5μm,极小液体流量可控,精准微量喷涂,薄涂层均匀覆盖,不积液、不流淌,满足高精度镀膜需求。
316 不锈钢材质
整体不锈钢镜面抛光,耐酸碱腐蚀,适配纯水、稀释药液、光刻辅助液、消毒液等多种介质,长期使用不易生锈堵塞。
稳定不堵设计
大通径异物通过孔,介质含微量杂质也不易堵;气液分离式通道,停机无滴漏,避免工件水渍污染。
小巧易安装
紧凑短款机身,标准外螺纹连接,安装空间占用小,可多支阵列排布,适配流水线自动化设备改造。
宽工况适配
工作气压 2–5bar,液体流量可调,加湿、冷却、喷涂、消毒、静电消除辅助喷雾均可使用。
三、详细规格参数
型号:AM6S-1ST
主体材质:316 不锈钢
混合方式:外部混合二流体
异物通过径:0.3mm
喷嘴总长:28mm
孔径:0.15mm
连接型式:外螺纹直通
安装方式:螺纹直装
螺纹长度:10mm
外形尺寸:外径 12mm,总长 28mm
雾化粒径:平均 5μm
适用压力:气压 2–5bar
表面处理:镜面抛光
四、主要适用行业场景
半导体行业:晶圆清洗、光刻辅助喷雾、晶片微量保湿
电子制造:PCB 板加湿、电子元件镀膜、防静电喷雾
医疗设备:消毒液微量雾化、实验室试剂喷涂
工业加工:精密工件冷却、车间无尘加湿、药剂喷涂
食品日化:低剂量香精喷雾、无菌加湿
五、安装使用说明
气路、液路分别接入洁净气源与稳压供液装置,建议搭配调压阀精准控制流量;
喷嘴垂直 / 倾斜安装均可,阵列使用时保持间距,避免雾场相互干扰;
介质需前置过滤,减少杂质堵塞,长期停机前用清水冲洗内部通道;
标准螺纹直接对接管路,无需额外转接头,拆装便捷。

ATOMAX AM6S-1ST 二流体喷嘴微量超细雾化半导体晶圆喷涂空气雾化(图1)

ATOMAX AM6S-1ST 二流体喷嘴微量超细雾化半导体晶圆喷涂空气雾化(图2)

ATOMAX AM6S-1ST 二流体喷嘴微量超细雾化半导体晶圆喷涂空气雾化(图3)

1. 精密微量 AM 不锈钢系列(半导体 / 电子首选)
AM6S-1ST、AM6S-2ST、AM6S-ISV、AM6L-ST
AM12S-1ST、AM12S-2ST、AM12S-ISV、AM12L-ST
AM25S-ST、AM25S-ISV、AM25L-ST
AM45S-ST、AM45S-ISV
2. 耐酸碱 PCF 塑料系列
PCF6-ST、PCF12-ISV、PCF25-ST
3. 工业大流量 BN 系列
BN90、BN160、BN200、BN500、BN1000
4. 自吸大流量 CN/CNP 系列
CN 标准型、CNP 加长防滴型
5. 全塑料 PK 耐腐蚀系列
PK6、PK12、PK25

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