Parameter
规格参数
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 型号 | VWSET-A 300mm 晶圆真空吸笔整套 |
| 适配晶圆 | 300mm(12 寸)标准硅片 |
| 全套配件 | T3PKAS1 防静电 PEEK 吸头、NO3AS1 真空笔、HSU3 收纳支架、CTA12 接地接头、CC11SDS 防静电螺旋管 |
| 防静电性能 | 全组件 ESD 导电,完整接地消除静电 |
| 洁净等级 | ISO3(FS209E Class1)无尘室标准 |
| 吸附面积 | 3.3 平方英寸真空吸附面 |
| 推荐真空源 | ≥22"Hg 厂务负压 |
| 材质 | 导电 PVDF 笔杆、ESD PEEK 吸嘴,耐化学腐蚀 |
| 适用场景 | 半导体晶圆厂、芯片实验室、硅片检测分拣、手动上下料 |
| 优势 | 全套防静电、低发尘洁净、吸附稳定不伤片、一体式成套免搭配、无尘车间专用 |
Particulars
产品详情
产品简介
美国 H-SQUARE 原厂 VWSET-A 真空吸笔套装,专为无尘 ISO1/3 级洁净车间设计,用于 300mm 硅晶圆手动拾取搬运,防静电导电材质,吸附平稳不划伤晶圆,搭配螺旋伸缩真空管,适配工厂集中真空气源。
核心参数
型号:VWSET-A(4-260306) 适用晶圆:300mm(12 英寸)硅片 洁净等级:ISO Class 3(Class1 无尘室) 防静电:整机导电 ESD 防护,配套接地防静电线缆 气源要求:真空负压≥22" Hg 材质:手柄导电 PVDF,吸嘴耐磨 PEEK 配件:手持吸棒、螺旋真空弹簧管、接地线、说明书
产品优势
专业半导体晶圆搬运,宽面吸嘴均匀吸附,防止晶圆碎裂、划伤
全机身防静电导电材质,杜绝静电击穿芯片电路
洁净室专用无粉尘材质,适配芯片、光伏无尘产线
伸缩螺旋管线,操作活动范围大,手持操作省力
原装成套含管线地线,收到即可对接工厂真空气源使用
适用行业
半导体芯片工厂、晶圆封装车间、光伏硅片加工、微电子无尘实验室
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