规格参数
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 型号 | VWSET-C 200mm 超薄晶圆真空吸笔整套 |
| 适配晶圆 | 200mm(8 寸)超薄硅片,兼容 100-200mm 常规晶圆 |
| 全套配件 | ESD PEEK 薄型吸头、常开真空笔、收纳支架、接地转接、防静电螺旋管 |
| 防静电性能 | 全组件 ESD 导电,配套接地线消除静电 |
| 洁净等级 | ISO3(FS209E Class1)无尘室标准 |
| 吸附面积 | 0.15 平方英寸窄面真空槽,柔和不伤薄晶圆 |
| 推荐真空源 | ≥22"Hg 厂务负压 |
| 材质 | 导电 PVDF 笔杆、ESD PEEK 吸嘴,耐化学腐蚀、低发尘 |
| 适用场景 | 半导体晶圆厂、芯片实验室、超薄硅片检测、镀膜、分拣上下料 |
| 优势 | 窄面低压吸附、超薄晶圆不变形、全套防静电、无尘洁净、一体式成套免搭配 |
产品详情
产品简介
美国 H-SQUARE 原厂 VWSET-C 防静电真空吸笔套装,专为 200mm 超薄硅晶圆手动搬运设计,全机身导电 ESD 防静电材质,
洁净室无粉尘污染,扁平超薄吸嘴均匀吸附薄晶圆,不易翘边碎裂,搭配伸缩螺旋真空管线,配套放置支架,适配半导体无尘车间集中真空气源使用。
核心规格参数
型号:VWSET-C
适配晶圆:200mm 超薄晶圆
洁净等级:ISO Class3 无尘室适用
防静电性能:整体导电接地,消除静电击穿风险
气源要求:真空负压≥22" Hg
主体材质:导电 PVDF 手柄、耐磨 PEEK 超薄吸嘴
成套配件:真空吸棒、伸缩螺旋真空管、防静电接地线、收纳支架、原厂说明书
产品优势
超薄专用扁平吸嘴,薄硅片吸附受力均匀,避免晶圆变形、崩边
整机防静电导电材质,杜绝静电损伤芯片线路
无尘无析出材质,不污染晶圆表面,适配芯片封装、光伏产线
螺旋伸缩管线,操作活动范围大,手持操作省力
配套专用放置支架,闲置时可稳定摆放,避免吸嘴磕碰划伤
适用场景
半导体芯片无尘车间、200mm 超薄硅片加工、晶圆封装测试、微电子实验室、光伏薄片搬运
一、真空吸笔套装
VWSET-A、VWSET-B、VWSET-C、VWSET-D、VWSET-E、VWSET-F、FWCR2
二、晶圆吸嘴配件型号
T693PKAS3、T300PK、T792PKAS、T696PK
三、晶圆对准器系列
ANFEZ、NFEZ、AFEZ、MFEZ、FFTBAS-456、FFTB1
四、晶圆载具 / 料盒系列
MC12、SSC
五、晶圆搬运转移设备
WS200、WS300、AVT、LCT2、LCT1AS12、AHWT、HWT、AWM2
六、非接触式 Breeze 吸笔
H2BST-12、H2B
七、FOUP / 晶圆盒开盒设备
SMIFPO16、SMIFMAN6、SMIFPO8、SMIFMAN8、FOMHFOUP
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